瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥
- 公司名稱 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/8/6 13:03:29
- 訪問次數(shù) 18
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3C閥門類別 | 工業(yè) | 流動(dòng)方向 | 單向 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥
在所有條件下均能實(shí)現(xiàn)出色的壓力控制
61.3 高真空蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器(0.1 秒),61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件,改變閥門開度的流導(dǎo)特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計(jì)算所需的閥板位置,以盡快實(shí)現(xiàn)設(shè)定壓力。
該系列產(chǎn)品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設(shè)計(jì)。即使粒子載荷高并且存在因設(shè)計(jì)而沉積的碎屑,61.3 蝶形控制閥仍能夠保持正常運(yùn)行。
61.3 系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其可靠性。憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)、直接安裝選項(xiàng),以及簡(jiǎn)單且輕松的維護(hù),61.3 系列在各個(gè)方面都令人信服。
閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法(自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟抽)方面的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)可簡(jiǎn)化在不同真空應(yīng)用中的集成。
61.3 高真空蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成,標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F,可以集成客戶指定法蘭和特殊功能,如集成式絕緣加熱器??筛鶕?jù)要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體(氟橡膠為標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng))。
61.3 高真空蝶形控制閥的主要特點(diǎn)
特點(diǎn):
壓力控制
運(yùn)行非???/span>
板載軟件,用于本地運(yùn)行
惡劣工藝條件下可實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行
優(yōu)勢(shì):
工藝可控性更好
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)/性能不受限
運(yùn)行成本低
瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥