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瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置

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公司具有豐富的氣動工控液壓產品銷售經驗,多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關系,所銷產品已廣泛應用于國內各工業領域,公司依仗品牌的優勢,以靈活的經營方式,多渠道,*地為客戶提供先進的自動化產品。

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德國EPRO,EPRO傳感器,EPRO探頭,EPRO模塊,PR6424,PR6426,PR9268,PR9350,MMS6000

3C閥門類別 工業 流動方向 其他
應用領域 能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合

瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置

瑞士VAT是真空閥門制造商,專注于高精度真空閥的設計與生產,產品廣泛應用于半導體、光伏、平板顯示、科研等領域,以高可靠性、長壽命和密封性能著稱。

1. 公司背景

瑞士VAT是真空閥門制造商,專注于高精度真空閥的設計與生產,產品廣泛應用于半導體、光伏、平板顯示、科研等領域,以高可靠性、長壽命和密封性能著稱。


2. 核心產品系列

(1) 單閥產品

  • 系列型號

    • 角閥(如VAT 54系列):適用于高真空(HV)和超高真空(UHV)環境。

    • 直通閥(如VAT 47系列):低流阻設計,適合快速抽真空。

    • 閘閥(如VAT 19系列):金屬密封,耐高溫(可達450°C),用于半導體工藝腔室。

    • 調節閥:精確控制氣體流量,用于工藝壓力調節。

  • 技術參數

    • 泄漏率:<10?? mbar·l/s(金屬密封)。

    • 材質:不銹鋼、鋁合金,表面鍍鎳或電解拋光。

    • 驅動方式:氣動、電動或手動。

(2) 多閥裝置(Multi-Valve Systems)

  • 設計特點

    • 集成多個閥門(如隔離閥、旁抽閥、主泵閥)于單一模塊,簡化真空系統布局。

    • 模塊化設計,支持定制化組合(如VAT Lockfast®系列)。

    • 快速響應(開關時間可低至50ms)。

  • 典型應用

    • 半導體刻蝕/沉積設備的多腔室隔離。

    • 光伏鍍膜系統的真空路徑切換。


3. 核心技術優勢

  • 密封技術

    • 金屬密封(無彈性材料)適用于高溫和腐蝕性環境。

    • 彈性密封(如氟橡膠)用于經濟型應用。

  • 驅動系統

    • 氣動執行器標配防爆設計,電動執行器支持PLC控制。

  • 智能控制

    • 支持PROFINET、EtherCAT等工業協議,實時監控閥門狀態。


4. 典型應用領域

  • 半導體制造:晶圓傳輸腔室、刻蝕設備。

  • 光伏產業:PECVD、ALD設備的真空隔離。

  • 科研裝置:同步輻射光源、粒子加速器。

  • 工業真空:鍍膜機、熱處理設備。


5. 選型參考

  • 關鍵參數

    • 通徑尺寸(DN16至DN400)。

    • 壓力范圍(從大氣壓到10?1? mbar)。

    • 兼容氣體(腐蝕性/惰性氣體)。

  • 認證標準

    • SEMI F47(半導體設備抗電壓波動標準)。

    • CE/UL認證。


6. 服務與支持

  • 提供定制化設計、快速交付及全球技術支持。

  • 在線配置工具(如VAT Configurator)輔助選型。


瑞士VAT真空閥-真空多閥裝置



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