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岱美儀器技術服務（上海）有限公司

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[供應]等離子去膠

貨物所在地：上海上海市

更新時間：2025-03-10 21:00:08

有效期：2025年3月10日 -- 2025年9月10日

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等離子去膠工藝擁有低污染顆粒，低成本大規模量產，高均勻性與高可復制性等工藝特征。

           boffotto 寶豐堂自主研發設計生產的先進干法去膠、掩膜蝕刻系列產品，可用于大批量去膠與大劑量離子注入后去膠，同時還可用于各種硬掩膜層干法蝕刻。

微波等離子清洗，等離子去膠工藝擁有低污染顆粒，低成本大規模量產，高均勻性與高可復制性等工藝特征。采用高度模塊化設計，為廣大客戶提供多樣靈活配置方案，滿足不同的先進制程要求。

等離子去膠應用領域：
1、LDI后光刻膠去除；
2、光刻膠、聚合物去除（灰化）；
3、大劑量離子注入后光刻膠去除；
4、二氧化硅、氮化硅、氮化鈦掩膜蝕刻；
5、碳化硅、氮化鎵、鉭酸鋰、磷化銦材料工藝；
6、射頻濾波器BAW，SAW生產工藝中光刻膠去除；
7、MEMS應用、晶圓級封裝（PR、PI、BCB、PBO）。


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