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普通四探針方阻電阻率測試儀

時間:2015-4-18閱讀:1859
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普通四探針方阻電阻率測試儀

按照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及標準設(shè)計制造該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準,本機配置232電腦接口及USB兩種接口,


本機采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差,比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測量,更加準確.

本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。

液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.



規(guī)格型號

FT-331

FT-332

FT-333

FT-334

FT-335

FT-336

1.方塊電阻范圍

10-5~2×105Ω/□

10-4~2×103Ω/□

10-3~2×105Ω/□

10-3~2×103Ω/□

10-2~2×105Ω/□

10-2~2×103Ω/□

2.電阻率范圍

10-6×106Ω-cm

10-5×104Ω-cm

10-4~2×106Ω-cm

10-4~2×104-cm

10-3~2×106Ω-cm

10-3~2×104-cm

3.測試電流范圍

0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

10μA,100μA,1mA,10mA,

100 mA

0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

4.電流精度

±0.1%讀數(shù)

±0.2%讀數(shù)

±0.2%讀數(shù)

±0.3%讀數(shù)

±0.3%讀數(shù)

±0.3%讀數(shù)

5.電阻精度

≤0.3%

≤0.3%

≤0.3%

≤0.5%

≤0.5%

≤0.5%

6.顯示讀數(shù)

液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

7.測試方式

普通單電測量

8.工作電源

輸入: AC 220V±10% ,50Hz  耗:<30W

9.整機不確定性誤差

≤4%(標準樣片結(jié)果)

10.選購功能

選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺

11.測試探頭

探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針

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