AE Navigator Series 射頻匹配網絡可實現快速、精確、可靠的數字調諧匹配，AE NavigatorⅡ 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW RF Matching Box 使用*的數字技術可縮短調諧和匹配響應時間。

AE Navigator Series 射頻匹配網絡具有優秀的射頻等離子體控制方法，高級脈沖控制，可在脈沖時調諧，通過集成的內部射頻傳感器深入監測等離子體。內部射頻傳感器可實時分析過程功率和阻抗，幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件，可通過用戶計算機進行監測和控制。

AE NavigatorⅡ 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW RF Matching Box

技術參數

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

優點

1.快速調諧和縮短匹配響應時間

2.加強過程控制

3.提高設備效率和產品產量

4.提高可靠性，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過程

特點

1.數字架構，采用基于模型的快速調諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調失真（IMD）抗擾，針對多頻率應用

5.實時工藝功率和阻抗測量