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江蘇神州半導體科技有限公司
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Navigator 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號AE Navigator 3013

品       牌Advanced Energy/優儀

廠商性質經銷商

所  在  地揚州市

更新時間:2023-11-24 11:45:31瀏覽次數:812次

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供貨周期 現貨 貨號 3155132-005
應用領域 化工,電子/電池,電氣,綜合 主要用途 Matching Box 射頻匹配網絡
型號 Navigator?3013 M/N 3155132-005
P/N 0190-29997-001 頻率 13.56MHz
輸出功率 3000W 設備狀態 Refurblished
AE Navigator 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW Matching Box Matching Box 射頻匹配網絡配備微處理器控制的步進電機驅動,以及*的調諧算法,可實現射頻功率優化。

AE Navigator Series 射頻匹配網絡可實現快速、準確、可靠的數字調諧匹配,AE Navigator 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW Matching Box使用*的數字技術可縮短調諧和匹配響應時間。

AE Navigator Series 射頻匹配網絡具有優秀的射頻等離子體控制方法,高級脈沖控制,可在脈沖時調諧,通過集成的內部射頻傳感器深入監測等離子體。內部射頻傳感器可實時分析過程功率和阻抗,幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件,可通過用戶計算機進行監測和控制。

AE Navigator 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW Matching Box技術參數

Power :1 ~ 30KW

Frequency :400KHz ~ 60MHz

Other :Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

優點

1.快速調諧和縮短匹配響應時間

2.加強過程控制

3.提高設備效率和產品產量

4.提高可靠性,降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過程

特點

1.數字架構,采用基于模型的快速調諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調失真(IMD)抗擾,針對多頻率應用

5.實時工藝功率和阻抗測量



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