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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>KYOSAN RFK Series>> RFK-75Z-UV1KYOSAN 射頻電源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | WH4276 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型號 | RFK-75Z-UV1 |
| L/N | WH4276 | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 7500W | 設備狀態 | Refurblished |
KYOSAN 射頻電源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器，是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源在半導體薄膜工藝中可以憑借其較快的成膜能力提高產線效率，此外嚴格的設計和制造工藝也決定該型射頻電源具有精準的射頻控制能力。
KYOSAN 射頻電源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW RF Generator 規格
設備型號：RFK-75Z-UV1
AC輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，46A
RF輸出：13.56MHz，7.5KW
諧波失真：≤ -45dB
輸出：MOS-FET
輸出接口：HN type
散熱方式：水冷散熱
水冷進水流速：6L/min
設備重量：86kg
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