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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>KYOSAN RFK Series>> RFK150ZD-TE7-DCKYOSAN 射頻電源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | WH4239 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型號 | RFK150ZD-TE7-DC |
| L/N | WH4239 | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 15KW | 設備狀態 | Refurblished |
KYOSAN 射頻電源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器，是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射頻電源具有優良的成膜能力，在半導體薄膜工藝中較快的成膜速度，能夠在一定程度上提高產線效率，降低能源損耗，提高效益。
KYOSAN 射頻電源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW 參數規格
設備型號：RFK150ZD-TE7-DC
AC輸入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，65A，25kA
RF輸出：13.56MHz，15KW
諧波失真：≤ -45dB
輸出：MOS-FET
輸出接口：HN type
散熱方式：水冷散熱
水冷進水流速：8L/min
設備重量：44kg
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