| 供貨周期 |
現貨 |
應用領域 |
環保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發科頻射電源
RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射頻電源，內置輸出匹配器，適用于射頻濺射和等離子 CVD 蝕刻等等離子體工藝。匹配器和射頻電源的集成使其更小、更輕。它可以從低輸出進行控制，并且可以用于廣泛的領域，從研發應用到批量生產設備。
日本ULVAC愛發科頻射電源
日本ULVAC愛發科頻射電源
特征
功率低至 1W 即可控制
標配 500Hz~100kHz 脈沖射頻輸出功能 能夠以低輸出功率進行控制
標配外部同步引腳
單相 100V~220V / 50Hz~60Hz 輸入范圍廣
200mm×200mm×350mm/10kg，小巧輕便的電源
CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS
規格
| 型 | RMG-1303 系列 |
| 電源功能部分 | 輸入電壓 | 單相 AC100-220V |
| 輸入容量 | 700VA 以下 |
| 頻率 | 13.56兆赫±0.01% |
| Forword 力量 | 300W （50Ω 負載時） |
| 匹配函數部分 | 額定功率 | 300 瓦 |
| 額定電流 | 10 臂 |
| 額定電壓 | 2500Vpp/-2500Vdc（標準） *1 |
| 輸出電極/選項 | 2-M4（標準）/N，HN，DIN7/16 *2 |
| 公共部分 | 冷卻方式 | 強制風冷 |
尺寸尺寸
（W×D×H） 不包含
突起項 | 200×350×200（毫米） |
| 重量 | 約 10 公斤 |
| 標準 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS（歐洲） |
*2 可以選擇更改為連接器輸出類型。
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