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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科多功能真空搬運(yùn)機(jī)器人

特征

有多種臂可供選擇，以適應(yīng)行程、轉(zhuǎn)彎半徑、傳輸板的數(shù)量等。

COVOT-CR4 采用磁流體密封進(jìn)行真空密封，可使用高達(dá) 10-6Pa 的高真空。

規(guī)格

型		COVOT-6-X5	COVOT-CR4 系列
工作壓力區(qū)域		大氣壓力~10-1Pa	大氣壓~10-6Pa
晶圓尺寸		200 毫米/300 毫米	200 毫米/300 毫米
持有的晶圓數(shù)量		4 件	2 件
最大范圍 *		880 毫米	1050 毫米
旋轉(zhuǎn)角度		360° 無(wú)盡	±180°
提升行程		110 毫米	120 毫米
最小旋轉(zhuǎn)直徑 *		980 毫米	960 毫米
有效載荷能力（包括手）		1 千克	1 千克
作速度伸縮式	伸縮	最大 1.5 秒 / 全行程	最大 1.5 秒/780 毫米
	把	最大 2.0 秒 / 180°	最大 2.0 秒 / 180°
	提升	最大 1.5 秒 / 20 毫米	最大 3.5 秒 / 105 毫米
可重復(fù)的位置精度	伸縮	±0.1 毫米	±0.1 毫米
	把	±0.1 毫米	±0.1 毫米
	提升	±0.1 毫米	±0.1 毫米
示教器		附屬品	附屬品
控制器		分開(kāi)	分開(kāi)

*取決于安裝臂和手。

中崎目前已獲得CCS晰寫(xiě)速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫(xiě)真化學(xué)、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛(ài)拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機(jī)、HAYASHI林時(shí)計(jì)、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學(xué)、SIBATA柴田科學(xué)、HORIBA堀場(chǎng)、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、NPM脈沖、AND愛(ài)安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業(yè)、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達(dá)、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權(quán)認(rèn)證。