當前位置:> 供求商機> 多層膜磁控濺鍍設備
多層膜磁控濺鍍設備的結構廣泛用於各個領域,而對於精密系統則需要更嚴格的規格,包括光、聲音和電子元件。在單一材料薄膜無法滿足所需規格的精密系統中,高質量多層膜的作用變得越來越重要。因此,新材料的開發和薄膜的精確控制製程已成為當前多層薄膜研究的重要方向。
SYSKEY的多層膜磁控濺鍍設備系統擁有基板公自轉機構,可實現精準的多層膜結構並可以一次批量生產。
應用領域 | 腔體 |
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配置和優點 | 選件 |
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