美國(guó)Entegris   在線氣體過(guò)濾器 寧波

美國(guó)Entegris   在線氣體過(guò)濾器 寧波

Wafergard® MAX HT 在線氣體過(guò)濾器 適用于高溫、超純氣體應(yīng)用的顆粒過(guò)濾。

專為高溫 TEOS 和高達(dá) 200°C （392°F） 的高 k 應(yīng)用而設(shè)計(jì)  整體設(shè)計(jì) （148 mm [5.82“]） 是類似過(guò)濾器的直接替代品，緊湊的尺寸適合許多現(xiàn)有的輸送系統(tǒng)，并提供設(shè)計(jì)靈活性和多功能性

特殊烘烤可實(shí)現(xiàn)快速氣體輸送啟動(dòng)，，低壓差提供穩(wěn)定和改進(jìn)的材料輸送

應(yīng)用Wafergard® MAX HT 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用用于 CVD 工具的使用點(diǎn)過(guò)濾器

TEOS 和高 k 等高溫應(yīng)用  熱 N2應(yīng)用

產(chǎn)品規(guī)格 材料 膜 聚四氟乙烯   支持 PFA 系列   外殼 316L 不銹鋼 

去除顆粒等級(jí) ≥0.0015 微米   顆粒截留 ≥99.9999999% @ 25°C （77°F） 

初始下游清潔度 大于 0.01 μm 的 ≤0.03 個(gè)顆粒/升   內(nèi)表面光潔度 ≤7 μin Ra （Ra <0.17 μm） 

連接 1/2“ 密封外螺紋墊圈（兼容 VCR）®   

工作條件

 最大工作壓力 0.99 MPa （9.9 bar;143.15 psig） @ 0° 至 200°C（0° 至 392°F） 

 最大正向壓差 0.70 MPa （7 bar;101.5 psid） @ 0° 至 40°C （0° 至 104°F） 

   0.08 MPa （0.8 bar;11.6 psid） @ 200°C （392°F）   最高工作溫度 200°C （392°F） 惰性氣體 

氦氣泄漏等級(jí) <1 x 10-10帕米3/秒   流量等級(jí) 請(qǐng)參閱性能數(shù)據(jù) 

Wafergard® MAX HT 在線氣體過(guò)濾器零件編號(hào)

      零件編號(hào)                                          長(zhǎng)度

WGMXMPRR4HT                    127 毫米(5.00 英寸)

WGMXMPRR4HTL                  148 毫米(5.83 英寸)