美國Entegris   微型在線氣體過濾器 北京

美國Entegris   微型在線氣體過濾器 北京

Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器，這些氣體過濾器推薦用于惰性和反應性氣體，與所有類型的半導體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機柜中。

PTFE 膜提供高效過濾 低壓降降低了在低蒸氣壓氣體中冷凝的風險  與所有類型的半導體工藝氣體具有出色的兼容性

適用于惰性和反應性氣體，包括臭氧  應用Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器應用生命科學應用

臭氧應用（氣體）  氣柜和面板  超純氣體系統 內部工藝工具 產品規格材料   濾芯

  由模制 PFA 結構支撐的疏水性 PTFE 膜  外殼 電解拋光 VAR 316L 不銹鋼 

下游清潔度  低于 0.03 個顆粒/升（<1 個顆粒/英尺）3） 大于 0.01 μm 

 揮發 物 <10 ppb 水分  去除等級 ≥0.0015 微米   內飾表面光潔度 ≤7 μin Ra  

氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-10cc/秒   測試 1 × 10-9cc/秒  

工作條件 最大入口壓力 207 巴 （3000 psig） @ 23°C （73°F） 最大正向壓差 4 巴 （60 psid） @ 23°C （73°F）

   最大反向壓差 0.07 MPa （0.7 bar，10 psid） @ 23°C （73°F）  最高工作溫度 120°C （248°F） 

顆粒截留  對所有顆粒的去除率大于 99.9999999% （9 LRV） @ 30 slpm（以具穿透力的顆粒尺寸為參考） 

流量等級 請參閱性能數據