美國Entegris   在線氣體過濾器 深圳

美國Entegris   在線氣體過濾器 深圳

Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器，在氣柜、氣柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方實現顆粒過濾。

緊湊的裝置減少了氣室的整體占地面積，節省了寶貴的設備空間

PTFE 膜提供高效過濾，提高產品產量  低壓降降低了低蒸氣壓氣體中冷凝的風險

與所有類型的半導體工藝氣體具有出色的兼容性  適用于惰性和反應性氣體，包括臭氧

應用Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器應用臭氧應用（氣體）

氣柜 超純氣體系統 閥島箱 燃氣板 產品規格材料 濾芯 由模制 PFA 結構支撐的疏水性 PTFE 膜 

住房 電解拋光 316L 不銹鋼  下游清潔度 粒子 <0.03 個顆粒/升（<1 個顆粒/英尺3） >0.01微米 

揮發 物 <10 ppb 水分  去除等級 0.0015 微米  內飾表面光潔度 ≤10 μin Ra 

氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-10自動取款機/CC-秒  測試 1 × 10-9自動取款機/CC-秒 

工作條件 最大入口壓力： 20.7 MPa （207 barg;3000 psig） @ 23°C （73°F） 

最大正向壓差： 0.4 MPa （4 bar;60 psid） @ 23°C （73°F） 

最大壓差： 0.07 MPa （0.7 bar;10 psid） @ 23°C （73°F）   最高工作溫度： 120°C （248°F） 

顆粒截留 大于 99.99999999% （9 LRV） 去除所有顆粒 @ 100 slpm（以具穿透力的顆粒尺寸為參考） 

流量等級 請參閱性能數據