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VC60-5系列 電動直驅升降臺是納米級定位精度的托舉運動升降平臺,直線電機驅動,采用交叉滾柱導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率可達120Hz...
SurfaceZ系列 電動直驅升降臺是納米級定位精度的垂直運動Z向平臺,直線電機驅動,采用交叉滾柱導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率可達200...
ART130V-5系列 直驅升降臺是納米級定位精度托舉運動升降平臺,直線電機驅動,交叉滾珠導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率可達150Hz以上...
SMH-V系列 電動直驅升降臺是納米級定位精度托舉運動Z向平臺,包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035等,對應行程分別是1...
ART165V-5系列 直驅升降臺是納米級定位精度托舉運動升降平臺,直線電機驅動,交叉滾珠導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率可達150Hz以上...
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