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qdr清洗槽材質介紹

來源:蘇州芯矽電子科技有限公司   2025年07月14日 15:20  

QDR(Quad Damascene Recess)清洗槽是半導體制造中用于清潔封裝或3D集成電路結構的關鍵設備,其材質選擇需兼顧耐腐蝕性、高純度、耐溫性和抗顆粒吸附等特性。以下是QDR清洗槽的典型材質及其應用場景:

1. 主體材質:氟塑料(PFA、PTFE)或高純石英

PFA(全氟烷氧乙烯):

耐強酸(如氫氟酸HF、硫酸H?SO?)、強堿(如KOH)和有機溶劑腐蝕。

低溶出物(避免污染晶圓表面)。

溫度耐受范圍廣(-200℃~+260℃)。

特性:

應用:
QDR清洗槽的內襯或接觸化學液的部件(如槽體、管道),尤其適用于含HF的清洗工藝(如BOE緩沖氧化物蝕刻液)。

高純石英(Quartz):

化學惰性(耐HF、王水等強腐蝕性介質)。

熱膨脹系數低,適合高溫工藝(如SC-1/SC-2清洗)。

表面光滑,減少顆粒吸附。

特性:

應用:
清洗槽的主體結構或關鍵接觸部件,常見于程(如EUV光刻后清洗)。

2. 密封與連接部件:氟橡膠(FKM)或聚四氟乙烯(PTFE)包覆

氟橡膠(FKM):

耐化學腐蝕(尤其耐HF、酸堿),彈性好,適合動態密封(如O型圈、閥門)。

工作溫度可達?20+250?20℃~+250℃。

特性:

應用:
清洗槽的密封圈、泵閥連接處,防止化學液泄漏。

PTFE包覆金屬件:

金屬基材(如不銹鋼)提供機械強度,外層PTFE隔絕化學腐蝕。

適用于高溫高壓環境。

特性:

應用:

清洗槽的進出口管道、噴淋頭支架等承重部件。

3. 加熱元件:鈦合金或哈氏合金(Hastelloy)

鈦合金(如Ti-6Al-4V):

耐HF腐蝕,強度高,熱導率適中。

可加工為加熱盤管或電熱膜。

特性:

應用:
QDR清洗槽的加熱系統(如電阻加熱或蒸汽加熱),避免金屬腐蝕產物污染清洗液。

哈氏合金C-276:

耐強氧化性酸(如硝酸、濃硫酸)和高溫鹵素腐蝕。

適合化學環境。

特性:

應用:
高腐蝕性清洗液的加熱器或反應釜內襯。

4. 其他關鍵部件材質

兆聲波(Miracle Wave)發生器:

材質:鈦合金或PFA涂層壓電陶瓷,防止高頻振動下腐蝕或磨損。

過濾系統:

濾芯:聚四氟乙烯(PTFE)或聚乙烯(PE)多孔膜,孔徑0.1,攔截顆粒污染物。

外殼:PFA或不銹鋼(316L)。

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