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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

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上海茂碩機械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個市場有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購進貨,您可以避免國內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購服務(wù)。

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德國寶德BURKERT,德國BOSCH-REXROTH博世力士樂,德國FESTO費斯托,

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德國IFM易福門,德國TURCK圖爾克,德國MURR穆爾,德國HAWE哈威,

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意大利UNIVER氣動,意大利ATOS阿托斯,美國VICKERS威格士,

德國GSR閥,法國CROUZET高諾斯,德國PILZ皮爾茲繼電器,

德國SCHMERSAL施邁賽,德國SIEMENS西門子,美國ROSS閥,

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德國STAUFF西德福,德國NEGELE耐格,德國EMG伺服閥,

德國MAHLE馬勒,德國海隆HERION,英國諾冠NORGREN,

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以及法國高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

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公司具有豐富的氣動工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗,多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應用于國內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢,以靈活的經(jīng)營方式,多渠道,*地為客戶提供先進的自動化產(chǎn)品。

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應用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

1. 核心參數(shù)概覽

參數(shù)類別詳細規(guī)格
型號61332-KEAF-0001
類型氣動驅(qū)動高真空蝶形控制閥(金屬密封)
真空范圍工作壓力:10?? mbar 至 大氣壓(兼容超高真空/XHV)
漏率<1×10?? mbar·l/s(金屬密封版)
溫度范圍-20°C 至 +150°C(標準)/ 可選高溫版至 +250°C(金屬密封)
閥體材質(zhì)316L不銹鋼(電解拋光,表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm)
密封材質(zhì)標準:全金屬密封(無彈性體)
可選:氟橡膠(FKM,適用于非等離子體環(huán)境)
驅(qū)動方式氣動執(zhí)行(單作用彈簧復位/雙作用)
響應時間:<100 ms(全開至全關(guān))
法蘭標準ISO-KF、CF 或定制法蘭(SEMI標準兼容)
控制信號可選:4-20mA模擬量反饋、數(shù)字信號(RS485)

2. 機械與結(jié)構(gòu)設(shè)計

閥體與密封系統(tǒng)

  • 蝶板設(shè)計

    • 采用低慣量鈦合金蝶板,減少顆粒生成,適合潔凈環(huán)境(符合SEMI F47標準)。

    • 動態(tài)平衡結(jié)構(gòu),降低氣流擾動對晶圓工藝的影響。

  • 密封技術(shù)

    • 金屬密封:金包覆不銹鋼密封圈,耐高溫烘烤(≤150°C持續(xù)),抗等離子體腐蝕。

    • 彈性體密封(可選):FKM材質(zhì),適用于非腐蝕性氣體環(huán)境(漏率略高,約10?? mbar·l/s)。

執(zhí)行機構(gòu)

  • 氣動模塊

    • 標配氣壓范圍:4-6 bar(干燥空氣或氮氣驅(qū)動)。

    • 可選防爆設(shè)計(ATEX認證)。

  • 位置反饋

    • 高精度電位器或霍爾傳感器,實時監(jiān)控閥門開度(精度±0.5%)。


3. 性能曲線與關(guān)鍵指標

流量特性

  • Cv值:0.8(全開時,介質(zhì)為空氣)。

  • 流量調(diào)節(jié)比:100:1(線性控制區(qū)間)。

真空保持能力

真空級別漏率要求61332-KEAF-0001實測數(shù)據(jù)
高真空(HV)<10?? mbar·l/s<5×10?? mbar·l/s
超高真空(XHV)<10?? mbar·l/s<1×10?? mbar·l/s(金屬密封)

4. 半導體行業(yè)應用詳解

典型設(shè)備集成

工藝設(shè)備功能角色配套型號要求
刻蝕機(Etch)腐蝕性氣體隔離(Cl?/HBr)金屬密封+等離子體防護涂層
ALD/CVD前驅(qū)體氣體精準控制快速響應(<50 ms)+高線性度
離子注入機束線真空隔離超高真空密封(XHV級)
晶圓傳輸模塊Loadlock快速抽真空大口徑(可選VAT 48系列配合)

兼容性數(shù)據(jù)

  • 氣體介質(zhì)

    • 兼容腐蝕性氣體(WF?、NH?、SiH?等),需指定鍍層(如PTFE或Al?O?)。

  • 顆粒控制

    • 符合ISO 14644-1 Class 4潔凈度要求(每立方米≤3520顆粒,粒徑≥0.5 μm)。


5. 安裝與維護指南

安裝要點

  1. 法蘭對接

    • 使用無應力安裝工具,避免閥體變形(扭矩限制:≤10 Nm)。

  2. 氣路連接

    • 氣源需配備0.1 μm過濾器,防止顆粒污染。

維護周期

  • 常規(guī)檢查

    • 每3個月檢查密封面磨損(金屬密封壽命約10?次循環(huán))。

  • 深度維護

    • 每2年或50萬次循環(huán)后更換密封圈(原廠維修包編號:VAT-MK-61332)。

      優(yōu)勢供應:

    商品編號61338-PEAE-0001

    商品編號61348-PECN-0001

    商品編號61340-PECE-0001

    商品編號61344-PAAX-0001

    商品編號61344-PEAX-0001

    商品編號 61350-PAAK-0001

    商品編號61338-PAAN-0001

    商品編號61348-PAAQ-0001

     61336-PACX-0001

     61336-PACE-0001

    61348-PEAQ-0001

    61340-PECX-0001

    61340-PACF-0001

    61350-PAGQ-0001

    61344-PACQ-0001


瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001




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