瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
- 公司名稱 上海茂碩機械設(shè)備有限公司
- 品牌 REXROTH/德國力士樂
- 型號
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/7/17 11:55:11
- 訪問次數(shù) 1662
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應用領(lǐng)域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
1. 核心參數(shù)概覽
參數(shù)類別 | 詳細規(guī)格 |
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型號 | 61332-KEAF-0001 |
類型 | 氣動驅(qū)動高真空蝶形控制閥(金屬密封) |
真空范圍 | 工作壓力:10?? mbar 至 大氣壓(兼容超高真空/XHV) |
漏率 | <1×10?? mbar·l/s(金屬密封版) |
溫度范圍 | -20°C 至 +150°C(標準)/ 可選高溫版至 +250°C(金屬密封) |
閥體材質(zhì) | 316L不銹鋼(電解拋光,表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm) |
密封材質(zhì) | 標準:全金屬密封(無彈性體) 可選:氟橡膠(FKM,適用于非等離子體環(huán)境) |
驅(qū)動方式 | 氣動執(zhí)行(單作用彈簧復位/雙作用) 響應時間:<100 ms(全開至全關(guān)) |
法蘭標準 | ISO-KF、CF 或定制法蘭(SEMI標準兼容) |
控制信號 | 可選:4-20mA模擬量反饋、數(shù)字信號(RS485) |
2. 機械與結(jié)構(gòu)設(shè)計
閥體與密封系統(tǒng)
蝶板設(shè)計:
采用低慣量鈦合金蝶板,減少顆粒生成,適合潔凈環(huán)境(符合SEMI F47標準)。
動態(tài)平衡結(jié)構(gòu),降低氣流擾動對晶圓工藝的影響。
密封技術(shù):
金屬密封:金包覆不銹鋼密封圈,耐高溫烘烤(≤150°C持續(xù)),抗等離子體腐蝕。
彈性體密封(可選):FKM材質(zhì),適用于非腐蝕性氣體環(huán)境(漏率略高,約10?? mbar·l/s)。
執(zhí)行機構(gòu)
氣動模塊:
標配氣壓范圍:4-6 bar(干燥空氣或氮氣驅(qū)動)。
可選防爆設(shè)計(ATEX認證)。
位置反饋:
高精度電位器或霍爾傳感器,實時監(jiān)控閥門開度(精度±0.5%)。
3. 性能曲線與關(guān)鍵指標
流量特性
Cv值:0.8(全開時,介質(zhì)為空氣)。
流量調(diào)節(jié)比:100:1(線性控制區(qū)間)。
真空保持能力
真空級別 | 漏率要求 | 61332-KEAF-0001實測數(shù)據(jù) |
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高真空(HV) | <10?? mbar·l/s | <5×10?? mbar·l/s |
超高真空(XHV) | <10?? mbar·l/s | <1×10?? mbar·l/s(金屬密封) |
4. 半導體行業(yè)應用詳解
典型設(shè)備集成
工藝設(shè)備 | 功能角色 | 配套型號要求 |
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刻蝕機(Etch) | 腐蝕性氣體隔離(Cl?/HBr) | 金屬密封+等離子體防護涂層 |
ALD/CVD | 前驅(qū)體氣體精準控制 | 快速響應(<50 ms)+高線性度 |
離子注入機 | 束線真空隔離 | 超高真空密封(XHV級) |
晶圓傳輸模塊 | Loadlock快速抽真空 | 大口徑(可選VAT 48系列配合) |
兼容性數(shù)據(jù)
氣體介質(zhì):
兼容腐蝕性氣體(WF?、NH?、SiH?等),需指定鍍層(如PTFE或Al?O?)。
顆粒控制:
符合ISO 14644-1 Class 4潔凈度要求(每立方米≤3520顆粒,粒徑≥0.5 μm)。
5. 安裝與維護指南
安裝要點
法蘭對接:
使用無應力安裝工具,避免閥體變形(扭矩限制:≤10 Nm)。
氣路連接:
氣源需配備0.1 μm過濾器,防止顆粒污染。
維護周期
常規(guī)檢查:
每3個月檢查密封面磨損(金屬密封壽命約10?次循環(huán))。
深度維護:
每2年或50萬次循環(huán)后更換密封圈(原廠維修包編號:VAT-MK-61332)。
優(yōu)勢供應:
商品編號61338-PEAE-0001
商品編號61348-PECN-0001
商品編號61340-PECE-0001
商品編號61344-PAAX-0001
商品編號61344-PEAX-0001
商品編號 61350-PAAK-0001
商品編號61338-PAAN-0001
商品編號61348-PAAQ-0001
61336-PACX-0001
61336-PACE-0001
61348-PEAQ-0001
61340-PECX-0001
61340-PACF-0001
61350-PAGQ-0001
61344-PACQ-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001