A4P四點探頭采用100mm，150mm，200mm或300mm系統(tǒng)，無需維護且易于使用。該系統(tǒng)有多種選擇，包括寬范圍熱測試，非標準材料的定制卡盤和幾乎適用于任何應用的4點探針。

電阻率測量自動化軟件

A4P-200-PLUS自動化軟件允許使用電阻率測繪系統(tǒng)進行半自動或全自動測試。該接口設計簡單但功能強大，允許用戶輕松設置幾乎任何類型晶圓結構的自動測試程序。基于LabView的軟件采用邏輯結構，可輕松集成客戶自己的測試和測量設備。該軟件可以安裝在任何裝有Windows XP或更高版本操作系統(tǒng)的PC上。

A4P四點探頭功能

系統(tǒng)提供快速，準確的測量并且非常用戶友好。

直觀的基于LabView的開源軟件提供各種數(shù)據(jù)處理選項以及結果的二維和三維映射。

可以表征的各種材料和結構。

寬電阻率測量和薄層電阻范圍。

溫度范圍：從低于-60°C到超過300°C。

可選擇1種，5種，9種，25種，49種或121種測量模式以及自定義電阻率測量模式。

可調式真空吸盤適用于5mm至300mm的樣品尺寸。

ASTM，SEMI或簡單輸出的快速測量模式。

點擊或點擊或直接坐標輸入晶圓導航。

與Jandel探頭兼容。

該系統(tǒng)的真空或受控環(huán)境版本可用于擴展溫度測試的電阻率測試。

自動化軟件功能

在大多數(shù)情況下，所有自動化，測量和數(shù)據(jù)采集都可以通過在簡單的筆記本電腦上運行的軟件包進行管理。

不需要昂貴的硬件。

軟件允許用戶生成測量圖案圖。

軟件允許用戶生成結果的2D和3D地圖。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測量值。

軟件內置了熱卡盤的*控制，允許復雜且高度可定制的測試序列。

該軟件是開源的，客戶可以對其進行定制以滿足任何特定需求。

MicroXact團隊與客戶一起努力，盡快開發(fā)出的自動化解決方案。

A4P 4點探頭規(guī)格

A4P-200-TC

以下規(guī)格適用于標準配置。在大多數(shù)情況下，每個A4P 4點探針系統(tǒng)都可以定制，以超過這些值。

晶圓尺寸                 高達300mm

真空吸盤                  多區(qū)真空

兼容的探頭                Jandel探頭

饋通終端                  BNC，Triax或香蕉插頭

自動化軟件                基于LabView，與Windows兼容