SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統是MicroXact的半自動探針臺，設計靈活，易于使用，可用于高效設備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統設計用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。
 

高分辨率復合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調節真空吸盤。

超*真空泵。

溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。

適用于超聲波和激光切割的系統。

可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。

高分辨率復合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調節真空吸盤。

超*真空泵。

溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。

適用于超聲波和激光切割的系統。

可選擇XY平移臺和超堅固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。