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SUMMIT200 探針臺

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

200 mm 探針臺,用于收集高精度測量數據,速度提高 5 倍

新型 Cascade SUMMIT200先進的 200mm 探針系統,對于在單個或體積晶圓上收集高精度測量數據至關重要;越快越好。

SUMMIT200探針臺專為研發、設備表征/建模或利基生產應用而設計,可在超低噪聲、直流、射頻、毫米波和太赫茲應用中進行溫度范圍內的精確電氣測量,具有半自動和現在的全自動操作,可盡快獲得準確數據。

下一代探頭系統支持 PureLine™ 技術,可實現市場上低的噪聲水平之一。獲得AttoGuard® 和 MicroChamber® 技術可顯著改善低泄漏和低電容測量。新的先進200毫米快速平臺,盒式處理多達50片晶圓,高吞吐量測試功能,以及-60°C至300°C的寬溫度范圍,為科學家,研發和測試工程師或生產操作員提供了快速完成工作所需的一切。

SUMMIT200探針臺支持Contact Intelligence™,這是一種技術,可實現自主半導體測試。創新的系統設計和先進的圖像處理技術強強結合,提供了一個獨立于操作員的解決方案,可在任何時間和溫度下獲得高度可靠的測量數據。

該SUMMIT200具有廣泛的應用范圍和滿足任何未來需求的升級路徑,提供先進的 200 mm 探針臺平臺,可對現有和未來的設備和 IC 進行快速、高精度和大批量測量。

*SUMMIT200 平臺還提供不同版本,用于不需要上述增強功能集的測量任務。





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