低溫探針臺(tái)在科學(xué)研究和技術(shù)開(kāi)發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測(cè)試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能，從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。

  PSM-65K低溫探針臺(tái)是的一款經(jīng)濟(jì)小巧的閉循環(huán)低溫探針臺(tái)，其緊湊型以及低振動(dòng)的設(shè)計(jì)，能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)＜65K-350K高低溫真空測(cè)試環(huán)境，通過(guò)外接不同的電學(xué)測(cè)量?jī)x器，可完成材料/器件的IV、CV、光學(xué)以及微波等參數(shù)檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測(cè)試。

系統(tǒng)特點(diǎn)：

• 采用小型低振動(dòng)閉循環(huán)制冷，無(wú)需消耗液氦，溫度65K。
• 振動(dòng)小于1μm。
• 測(cè)試溫度范圍寬，支持65K-350K連續(xù)變溫。
• 耗電量小，輸入功率320W。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空 的情況下，切換樣品上的不同器件進(jìn)行測(cè)試。
• 探針臂支持 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)，能滿(mǎn)足4英寸樣品的測(cè)試。
• 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實(shí)測(cè)漏電流小于100fA @1V@65K-350K。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測(cè)試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。

參數(shù)和指標(biāo)：