AS-one 法國ANNEALSYS真空快速退火爐
- 公司名稱 上海麥科威半導體技術有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 AS-one
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/7/26 23:12:46
- 訪問次數 52
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產地:法國AnnealSys;
型號:AS-One100/AS-One150
AS-ONE立式快速退火爐為法國AS公司生產,分為AS-ONE 100, 150, 200三個型號,分別對應4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火爐產品。
應用:
- 快速熱退火 RTA;
- 快速熱氧化 RTO;
- 擴散,接觸退火;
- 化合物半導體退火;
- 氮化,硅化;
- 硒化,硫化;
- 石墨烯沉積,碳納米管生長;
- 晶體化,致密化;
技術規格:
規格
AS-ONE 100
AS-ONE 150
最大樣品基底直徑
100mm (4英寸)
150mm (6英寸)
腔體尺寸
130mm直徑 x 25mm
200mm直徑 x 25mm
紅外燈數量/最大功率
12支 / 30KW
18支 / 34KW
紅外燈冷卻方式
風扇
風扇
標準溫度范圍
室溫 ~ 1250°C
室溫 ~ 1200°C
選配高溫版本范圍
室溫 ~ 1500°C
室溫 ~ 1300°C
升溫速度
0.1°C ~ 200°C/s
0.1°C ~ 150°C/s
溫度控制
快速數字PID控制器
快速數字PID控制器
熱電偶
K型
K型
高溫計
150°C ~ 1100°C
400°C ~ 1500°C
150°C ~ 1100°C
400°C ~ 1500°C
氣體注入
石英視窗以下
石英視窗以下
清洗氣路
標準配置
標準配置
工藝氣路方式/數量
MFC / 5路
MFC / 5路
真空獲得系統
干泵(10-2Torr)
分子泵(10-6Torr)
干泵(10-2Torr)
分子泵(10-6Torr)
尺寸/重量
510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg
510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg
參考客戶:
清華大學、北京大學、復旦大學、華南理工大學、天津中電十八所、南京中電五十五所、GE上海研發中心、南方科大、深圳大學等。
大尺寸樣品快速退火爐
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。
儀器特點:
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空環境使用;
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm X 156mm電池片,300mm X 300mm電池片等;