化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>CPX系列 Lakeshore低溫探針臺(tái)
CPX系列 Lakeshore低溫探針臺(tái)
- 公司名稱(chēng) 上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
- 品牌 Lake Shore
- 型號(hào) CPX系列
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/7/27 11:08:00
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 32
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主要特征:
√ 溫度范圍4.3 K~475 K
√ 可選低溫1.9 K/1.6 K
√ 標(biāo)準(zhǔn)2英寸(51 mm)樣品,4英寸(102 mm)可定制
√ 樣品可面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)
√ 樣品振動(dòng)<30 nm可選
√ 超高真空選件
√ 可定制真空腔聯(lián)用轉(zhuǎn)移樣品,避免樣品暴露在大氣環(huán)境
√ 環(huán)形磁體選件最大0.19T
設(shè)備參數(shù):
溫度范圍
最多安裝6個(gè)探針臂基礎(chǔ)溫度4.3 K,控制范圍4.4 K ~ 475 K
安裝PS-LT低溫選件基礎(chǔ)溫度1.9 K,控制范圍2 K ~ 475 K
安裝PS-VLT-CPX極低溫選件基礎(chǔ)溫度1.6 K,控制范圍1.65 K ~ 400 K
安裝PS-LL-CPX選件(Load Lock)基礎(chǔ)溫度10 K,控制范圍10 K ~ 400 K
溫度穩(wěn)定性液氦液氮
基礎(chǔ)溫度 (無(wú)加熱控制)±15 mK±20 mK
<10 K±50 mK—
10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK
101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK
251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK
351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK
真空以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn)PS-HV-CPX高真空選件
抽真空時(shí)間30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)
室溫<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr
基礎(chǔ)溫度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
最高溫度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr
循環(huán)時(shí)間
總循環(huán)3 h
抽真空0.5 h
探針臺(tái)冷卻1.25 h
探針臺(tái)升溫2 h
Load Lock樣品更換時(shí)間1小時(shí)(配有PS-LL-CPX選件)
樣品
最大尺寸51 mm(2英寸)標(biāo)準(zhǔn)
25.4 mm(1英寸)安裝PS-VLT-CPX高真空選件
25.4 mm(1英寸)安裝PS-LL-CPX Load Lock選件
樣品背光接口不可選
樣品旋轉(zhuǎn)±5°面內(nèi)旋轉(zhuǎn)
樣品振動(dòng)<300 nm標(biāo)準(zhǔn),<30 nm配有PS-PVIS減震選件
探針配置
最大探針數(shù)6
探針臂溫度計(jì)用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架<20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)
探針支架連接樣品臺(tái)或4K防輻射屏熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測(cè)量
落針?lè)秶?span style="white-space:pre">所有探針均可在直徑為 25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針