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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>CRX-6.5K 無液氦低溫探針臺/4寸

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CRX-6.5K 無液氦低溫探針臺/4寸

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上海麥科威半導體技術有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業的微納材料、半導體和微電子材料及器件研發儀器及設備的供應商,所銷售的儀器設備廣泛用于高校、研究所、以及半導體和微電子領域的高科技企業。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設立分公司和辦事處,快速響應客戶需求。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,并設立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導體技術有限公司主要銷售產品包括:  - 霍爾效應測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結爐;  - 電子束蒸發鍍膜機,熱蒸發鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,鍥焊機;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統,等離子增強原子層沉積設備;  - 電化學C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統; - 光學膜厚儀; -貼片機-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統-PLD-納米壓印;-等離子清洗機、去膠機;-反應離子刻蝕RIE; - 光刻機、無掩膜光刻機; - 勻膠機; - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,激光直寫光刻機),鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發機,化學沉積機,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業客戶:華為技術有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術, 安徽格恩半導體, 蘇州稀晶半導體科技, 矽品半導體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(常州),偉創力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導體材料, 珠海珍迎機電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風華技股份, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學, 汕頭大學, 南方醫科大學, 清華大學, 北京大學, 復旦大學, 西北工業大學, 南京醫科大學, 香港中文大學, 香港城市大學, 蘇州大學, 深圳職業技術學院, 南京大學合肥國家試驗室, 上海交通大學醫學院, 華南理工大學,華東師范大學,江南大學,重慶26所, 深圳大學, 南方科技大學, 深圳技術大學, 理化技術研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學, 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農業協同創新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導體設備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機,光刻機

CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產品的可靠性,為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。它使用獨立的閉循環制冷機,開機后可在無人協助的情況下冷卻至低溫。它的多功能性和經濟性使CRX-6.5K成為世界各地許多研究人員的首丶選工具。

 

I-V、C-V和微波測量在CRX-6.5K上是標準的。雙級閉循環制冷機允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測量有機材料的關鍵要求。

 

CRX-6.5K可在8 K至350 K的溫度范圍內工作,并可選擇擴展20 K至675 K的高溫范圍。該系統可容納直徑高達51 mm(2 in)的完整晶圓片和部分晶圓片。探針、測試電纜、樣品座和選件的廣泛選擇使其能夠滿足多種特定的測量應用。


設備參數:


溫度范圍
安裝2個探針臂基礎溫度8 K,控制范圍8.5 K ~   350 K
安裝4個探針臂基礎溫度9 K,控制范圍9.5 K   ~   350 K
安裝6個探針臂基礎溫度10 K,控制范圍10.5 K ~   350 K
安裝PS-HTSTAGE選件(與樣品背面偏壓不兼容)基礎溫度20 K,控制范圍20 K   ~   675 K
溫度穩定性
基礎溫度 (無加熱控制)未說明
<10 K±25 mK
11 K ~ 350 K±10 mK
351 K ~ 675 K±50 mK
真空
室溫<5×10-4 Torr
基礎溫度<1×10-5 Torr
最高溫度<5×10-5 Torr
循環時間
總循環6.25 h
抽真空0.5 h
探針臺冷卻3.5 h
探針臺升溫2.25 h
樣品
最大尺寸51 mm(2英寸)
樣品背光接口不可選
樣品旋轉不可選
樣品振動<2 μm
探針配置
最大探針數6
探針臂溫度計用于監視探針臂的溫度
冷卻探針支架<20 K(樣品在基礎溫度下)
探針支架連接樣品臺熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測量
落針范圍所有探針均可在直徑為25.4 毫米(1 英寸)的圓內落針




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