加熱型旋轉涂覆儀勻膠機采用全鋁合金腔體,美觀堅固。儀器采用的精密電機,轉速能達到10000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能,本品還配有加熱組件,可以加熱到200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程可控。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學習成本,十分適合實驗室選購。
加熱型旋轉涂覆儀勻膠機適用范圍:
加熱型旋轉涂覆儀可以將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用于光刻膠旋涂、生物培養基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。
加熱型旋轉涂覆儀技術參數:
| 項目 | 明細 |
旋涂儀 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
轉速 | 0~10000rpm | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
轉速分辨率 | 1rpm | |
單步時間 | 3000s | |
基片尺寸 | 直徑≤8英寸(200mm) | |
腔體材質 | 鋁合金 | |
加熱溫度 | ≤200℃ | |
控溫方式 | AIP智能控溫 | |
操作方式 | 7寸高清LCD觸控屏 | |
滴膠方式 | 手動滴膠,可選購精密注射泵 | |
勻膠曲線 | 每條曲線5段,共可儲存5條曲線 | |
抽氣接口 | φ6mm 快擰接口 | |
整機尺寸 | 290mm×365mm×300mm | |
整機重量 | 12kg | |
排氣系統 | 真空泵 | 干式機械泵 |
抽氣速率 | 50L/min | |
供電電源 | AC220V 50/60Hz |
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