化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>CY-SPC8-6-SS 8寸勻膠機(jī)帶6通道獨(dú)立控制注射泵
CY-SPC8-6-SS 8寸勻膠機(jī)帶6通道獨(dú)立控制注射泵
參考價(jià) | ¥ 89000 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號(hào) CY-SPC8-6-SS
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/6 16:43:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 34
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8寸勻膠機(jī)帶6通道獨(dú)立控制注射泵經(jīng)過(guò)小型化設(shè)計(jì),整體采用鋁合金結(jié)構(gòu),鋁合金陽(yáng)極氧化處理腔體,外觀美觀堅(jiān)固。儀器采用的精密電機(jī),最高轉(zhuǎn)速能達(dá)到8000轉(zhuǎn)/秒;控制依靠按鍵和高亮液晶屏,除直接勻膠外還能預(yù)存勻膠曲線進(jìn)行程控勻膠。本儀器在極大的減小了體積的前提下有效的保障了儀器性能和功能,十分適合實(shí)驗(yàn)室選購(gòu).
8寸勻膠機(jī)用途:
8寸勻膠機(jī)帶6通道獨(dú)立控制注射泵可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域
8寸勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):
供電電源 | AC220V, 50Hz |
樣品尺寸 | zui大直徑 8" (~200mm) |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼 |
上蓋(特殊要求) | 數(shù)量:2個(gè)(其中1個(gè)備用,只是蓋子,不含其它)石英材質(zhì), 便于觀察旋涂狀態(tài) |
轉(zhuǎn)速 | 0~8000rpm 可調(diào) |
加速度 | 100~5000rpm/s |
速度分辨率 | 1rpm |
操作模式 | 觸屏控制 |
注射泵裝置 | 6通道獨(dú)立控制注射泵,但注射泵的控制軟件和勻膠機(jī)兼容 適用注射器規(guī)格:1ml - 60ml zui大行程:90mm 線速度范圍:7.94um/min-79.4mm/min 行程控制精度:誤差≤±0.5%(行程≥zui大行程的30%) 額定線性推力:>90N |
滴液裝置(特殊要求) | l 自動(dòng)和可編程滴液 l 六個(gè)獨(dú)立注射器和滴液孔,無(wú)交叉污染 l 注射器的容量: 5ml到更高 l 其中2 條分配線需要jingque控制:可重復(fù)的分配量,每次zui小分配量:50ul±5ul,這兩條線是用于甲苯溶液。 其他4條線的jingque控制要求稍低,zui小分配量:500ul±50ul,用于辛烷或乙腈溶液 l 管子和注射器需要對(duì)溶劑甲苯、辛烷、乙腈具有很強(qiáng)的耐受性 l 管子和注射器之間的所有連接都要連接良好,不能泄漏 |
控制軟件(特殊要求) | 程序和存儲(chǔ)配方由步驟組成。 每個(gè)步驟至少具有以下可配置參數(shù):時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、斜率、6條分配線中的每條的分配量和6條分配線中的每條的分配速度。 配方允許循環(huán)步驟的子集.. 控制軟件配方的典型示例: 步驟1:注液泵 1 分配 50ul 溶劑 步驟2:立刻,旋涂機(jī)開(kāi)始以 3000 rpm 旋轉(zhuǎn) 30 秒并停止 步驟3:注液泵 2 分配 200ul 溶劑 步驟4:30 秒后,旋涂機(jī)開(kāi)始以 3000 rpm 的速度旋轉(zhuǎn) 步驟5:10 秒后,注液泵 3 分配 1ml 溶劑 步驟6:40秒后,旋涂機(jī)停止 步驟7:重復(fù)10 次 步驟 1 至 6 |
吸盤(pán) | 4片 (鋁合金,直徑 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm) |
真空泵 | 無(wú)油泵 |
泵抽速 | 50 L/min |
勻膠機(jī)尺寸 | ~290mm*365mm*300mm |
勻膠機(jī)凈重 | ~20kg |