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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>輔助設備>> D07-9 熱式模擬氣體質量流量控制器

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D07-9 熱式模擬氣體質量流量控制器

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  北京華丞電子有限公司(簡稱:華丞電子)原名北京華創流量計有限公司,在傳承四十余年流量測控經驗技術的基礎上,整合融入射頻、晶圓傳輸等專業技術優勢和創新能力,致力于為半導體、清潔能源、真空工業、生命科學及科學研究五大領域用戶,提供精密零部件產品及整體解決方案。
 
  華丞電子秉承“以客戶需求為導向的持續創新”理念,精研需求、尊重科學、潛心技術、持續創新,形成了流量測控、真空測控、氣路系統、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統等系列產品。公司已布局四大研發生產基地,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞主要國家和地區。
 
  作為精密控制的先行者,華丞電子以持續創新為己任,勇于突破自身邊界,積極探索前沿技術,以合作共贏為基礎,為全球合作伙伴貢獻華丞價值。
 

氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

創新點

VCP的閥控技術

閥控技術采用多項新成果,統稱VCP技術,該結構閥內部氣體死區空間少,閥響應速度快,無磁滯現象。采用VCP技術可有效提高氣體質量流量控制器控流穩定性。

恒功率傳感器

采用了一種新型恒功率式傳感器技術,該技術采用保持傳感器工作狀態恒定方法,大幅提高系統測量準確性及響應速度。

國產化程度高

材料、元器件、電子器件均實現國產化設計,核心技術自主可控。

應用領域

清潔能源—光伏

清潔能源—氫能燃料電池

特種工業—光纖

特種工業—真空鍍膜

特種工業—熱處理

生命科學—環境保護

生命科學—食品工業

生命科學—生物工程

生命科學—醫療健康

生命科學—分析儀器

科學研究—實驗器材

技術指標

型號 D07-9J 型 D07-9JM 型
流量規格(N?) (0~20,30,50,100,150,200,250)SLM
流量控制范圍 2~99%F.S.
準確度 ±1.5%F.S.
線性 ±1%F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
響應時間 ≤4sec
工作壓差范圍

20,30 SLM:(0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid)

 

50,150 SLM:(0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid)

 

200,250 SLM:(0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)

20~100SLM:<0.02 MPa(2.9 psid)

 

>100SLM:<0.05 MPa(7.3 psid)

工作壓力 1 MPa (145psig)
耐壓強度 3MPa
漏率 1×10-10 Pa·m³/sec He
工作環境溫度 (5~45) ℃
輸入信號

0V~+5.00V

 

(輸入阻抗大于 100K, 輸出電流不大于 3mA)

輸出信號

0V~+5.00V

 

(輸入阻抗大于 100K, 輸出電流不大于 3mA)

電源 +15V 50mA - 15V 400mA
重量 2.6 Kg 1.5 Kg


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