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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>輔助設備>> D07-23 熱式模擬氣體質量流量控制器

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D07-23 熱式模擬氣體質量流量控制器

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  北京華丞電子有限公司(簡稱:華丞電子)原名北京華創流量計有限公司,在傳承四十余年流量測控經驗技術的基礎上,整合融入射頻、晶圓傳輸等專業技術優勢和創新能力,致力于為半導體、清潔能源、真空工業、生命科學及科學研究五大領域用戶,提供精密零部件產品及整體解決方案。
 
  華丞電子秉承“以客戶需求為導向的持續創新”理念,精研需求、尊重科學、潛心技術、持續創新,形成了流量測控、真空測控、氣路系統、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統等系列產品。公司已布局四大研發生產基地,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞主要國家和地區。
 
  作為精密控制的先行者,華丞電子以持續創新為己任,勇于突破自身邊界,積極探索前沿技術,以合作共贏為基礎,為全球合作伙伴貢獻華丞價值。
 

氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

創新點

電路板數字內核

數字內核計算,實現更好的控制調節,并實時交互數據。

恒功率傳感器

采用了一種新型恒功率式傳感器技術,大幅提高系統測量準確性及響應速度。

數字傳感器補償技術

采用數字式傳感器電橋平衡方法補償傳感器驅動電壓,抑制溫度漂移。

應用領域

清潔能源—光伏

清潔能源—氫能燃料電池

特種工業—光纖

特種工業—真空鍍膜

特種工業—熱處理

生命科學—環境保護

生命科學—食品工業

生命科學—生物工程

生命科學—醫療健康

生命科學—分析儀器

科學研究—實驗器材

技術指標

型號 D07-23J 型
流量規格 20,30,50,100,150,200,250 SLM
流量控制范圍 2~99% of F.S.
準確度 ±1% F.S.
線性 ±0.5% F.S.
重復精度 ±0.2% F.S.
響應時間 ≤ 2sec
工作壓差范圍 0.05~0.3MPa  20 SLM≤F.S.≤30SLM
  0.1~0.3MPa  50 SLM≤F.S.<150 SLM
  0.15~0.3MPa  150 SLM≤F.S.≤250 SLM
工作壓力 1 MPa (145psig)
耐壓 3 MPa (435.1 psig)
漏率 1×10-9Pa·m3/sec He
溫度系數 Zero: ≤±0.05% F.S./℃; Span: ≤±0.1% F.S./℃;
工作環境溫度 5℃ ~ 45℃
輸入信號 4~20 mA 或 1~5 VDC
輸出信號 4~20 mA 或 1~5 VDC
電源 24VDC  400 mA(電壓輸入范圍:±10% 24V)
重量 2.6 kg


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