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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>輔助設備>> D07-7 熱式模擬氣體質量流量控制器

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D07-7 熱式模擬氣體質量流量控制器

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  北京華丞電子有限公司(簡稱:華丞電子)原名北京華創流量計有限公司,在傳承四十余年流量測控經驗技術的基礎上,整合融入射頻、晶圓傳輸等專業技術優勢和創新能力,致力于為半導體、清潔能源、真空工業、生命科學及科學研究五大領域用戶,提供精密零部件產品及整體解決方案。
 
  華丞電子秉承“以客戶需求為導向的持續創新”理念,精研需求、尊重科學、潛心技術、持續創新,形成了流量測控、真空測控、氣路系統、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統等系列產品。公司已布局四大研發生產基地,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞主要國家和地區。
 
  作為精密控制的先行者,華丞電子以持續創新為己任,勇于突破自身邊界,積極探索前沿技術,以合作共贏為基礎,為全球合作伙伴貢獻華丞價值。
 

氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

創新點

VCP的閥控技術

閥控技術采用多項新成果,統稱VCP技術,該結構閥內部氣體死區空間少,閥響應速度快,無磁滯現象。采用VCP技術可有效提高氣體質量流量控制器控流穩定性。

層流分流技術

流器采用層流分流技術,產品一致性好,使用壽命長。

恒功率傳感器

采用了一種新型恒功率式傳感器技術,大幅提高系統測量準確性及響應速度。

應用領域

特種工業—石油化工

特種工業—光纖

特種工業—真空鍍膜

特種工業—熱處理

生命科學—環境保護

生命科學—食品工業

生命科學—生物工程

生命科學—醫療健康

生命科學—分析儀器

科學研究—實驗器材

技術指標

型號 D07-7B  型
流量規格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

流量控制范圍 2~99% of F.S.
準確度 ±1.5  % F.S
線性    ±1 % F.S
重復精度 ±0.2  %F.S
響應時間 ≤10sec
工作壓差范圍 (0.1 ~ 0.5)  MPa   (14.5~72.5 psid)
工作壓力 1 MPa (145psig)
耐壓 3 MPa  (435.1psig)
工作環境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃
輸入信號 0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
輸出信號 0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
電源 +15 V   50 mA;      -15V  200 mA
重量 1.1  kg


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