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KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產和研發環節提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維...

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發和生產環節中對粗糙度、彎曲度和應力...

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀為生產和研發環節提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維...

半導體薄膜生長表面檢測KLA Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2...

KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙...

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動化輪廓儀，可為生產環節提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、...