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KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統先進的集成式表面和光致發光(PL)缺陷檢測系統可以捕獲各種關鍵襯底和外延缺陷。采用統計制程控制(SP...

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統第二代集成式光致發光和表面檢測系統，設計用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進行高級表征。采用統計制...

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測系統它使用多通道檢測和基于規則的缺陷分類，對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、...

KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統為硬盤驅動器基板和介質提供了高級缺陷檢測和分類功能。7100系列硬盤驅動器缺陷檢測和分類系統以...

KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統為金屬或玻璃數據存儲基板和成品介質提供了先進的量測和檢測功能。隨著數據存儲制造商努力通過進一步...