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德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第9年

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LSC-5000-LSC-5000大基片單晶圓全自動(dòng)兆聲清洗系統(tǒng)
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JFP microtechnic/法國(guó)
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Unitemp/德國(guó)
NanoMagnetics/英國(guó)
Reflow Oven /回流焊
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LSC-5000全自動(dòng)兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng):
Nano-Master兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)提供高可重復(fù)性、高均勻性及*進(jìn)的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕。該系統(tǒng)為全自動(dòng)機(jī)械手上下載片,可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無(wú)損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。

LSC-5000全自動(dòng)兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)概述:

技術(shù)的兆聲和清洗技術(shù)的發(fā)展,對(duì)MEMS和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的晶圓和掩模版清洗提供了的水平,可以幫助用戶獲得zui干凈的晶圓片和掩模版。

German First Nano System提供兆聲單晶圓&掩模清洗(SWC)系統(tǒng),用于*進(jìn)的無(wú)損兆聲清洗??梢赃m用于易受損的帶圖案或無(wú)圖案的基片,包含帶保護(hù)膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達(dá)到*化的清洗效果,兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。German Fisrt Nano System 技術(shù)確保了聲波能量均勻分布到整個(gè)基片表面,通過(guò)分布能量的zui大化支持的清洗,同時(shí)保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。

LSC-5000全自動(dòng)兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)應(yīng)用:

濕法刻蝕
硅片
藍(lán)寶石片
圓框架上的芯片
顯示面板
ITO涂覆的顯示屏
帶保護(hù)膜的分劃版
掩模版空白部位
掩模版接觸部位
帶保護(hù)膜/不帶保護(hù)膜的掩模版
LSC-5000全自動(dòng)兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)的特點(diǎn):

支持450mm直徑的圓片或15"x15"方片
帶兆聲、DI、刷子、熱DI、高壓DI、熱氮、化學(xué)試劑滴膠臂的大腔體
帶化學(xué)試劑滴膠的刷子轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)
帶LABVIEW軟件的PC全自動(dòng)控制
觸摸屏用戶界面
機(jī)械手上下載片,帶EFEM以及SMIF界面
安全互鎖及警報(bào)裝置
30"D x 26"W 的占地面積  
LSC-5000全自動(dòng)兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)選配項(xiàng):

化學(xué)試劑傳輸模塊
Piranha溶液清洗                                       
臭氧化DI水(20ppm的O3)
氫化的DI水
高壓DI水
熱DI水
溶劑和酸分離排放
IR紅外加熱
DI水循環(huán)機(jī)
耐火立柜

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