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GEMINI系列 MPI探針臺

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1 產(chǎn)品概述:

   探針臺是一種精密的電子測試設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。它集成了載物臺、光學(xué)元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個部分,能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,從而進(jìn)行高精度的電氣測量。探針臺根據(jù)操作方式可分為手動、半自動和全自動三種類型,每種類型都有其特定的應(yīng)用場景和優(yōu)勢。

2 設(shè)備用途:

探針臺的主要用途包括:

  1. 半導(dǎo)體測試:在晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),探針臺負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。它廣泛應(yīng)用于晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。

  2. 光電行業(yè)測試:在光電行業(yè)中,探針臺同樣用于測試光電元件和組件的性能,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。

  3. 集成電路測試:探針臺可用于集成電路的測試,包括功能測試、電參數(shù)測試等,幫助工程師評估和優(yōu)化集成電路的性能。

  4. 封裝測試:在封裝工藝之前,探針臺可以對封裝基板進(jìn)行測試,確保封裝過程中不會出現(xiàn)質(zhì)量問題。

3 設(shè)備特點

探針臺具有以下顯著特點:

  1. 高精度:探針臺配備高精度的定位系統(tǒng)和微調(diào)機(jī)構(gòu),能夠精確地將探針定位到芯片上的測試點,并實現(xiàn)穩(wěn)定的接觸,確保測試的準(zhǔn)確性和可靠性。

  2. 多功能性:探針臺可用于多種測試場景,包括晶圓檢測、芯片研發(fā)、故障分析、網(wǎng)絡(luò)測量等,具有廣泛的應(yīng)用范圍。

  3. 自動化程度高:全自動探針臺通常配備有晶圓材料處理搬運單元(MHU)、模式識別(自動對準(zhǔn))等功能,能夠自動完成測試序列,減少人工干預(yù),提高測試效率。

  4. 靈活性:探針臺可根據(jù)測試需求進(jìn)行配置和調(diào)整,如可選配接入光纖,將電學(xué)探針替換為光纖,提高測試靈活性。

4  設(shè)備參數(shù):

  • 由于結(jié)合了精確的探測臺、集成的控制軟件和微調(diào)的電動定位系統(tǒng),實現(xiàn)了出色的對準(zhǔn)精度。

  • 對具有非常小焊盤尺寸和低至微米級間距的      Micro LED 具有高精度探測能力。
         -
    精密的針力控制
         -
    精確的熱控制
         -
    適用于不同測試環(huán)境的抗振解決方案 - 探頭接觸補(bǔ)償

  • 集成探針卡或微定位器,用于可靠的      Micro LED 背板測量。
         -
    能夠輕松 測試具有復(fù)雜焊盤布局的光學(xué)設(shè)備 - 靈活的探頭序列管理

  • MPI 探針臺控制軟件提供全面的控制功能,從基本的晶圓對準(zhǔn)、映射、探針標(biāo)記檢測到部署 MPI 先進(jìn)的針對準(zhǔn)機(jī)構(gòu) (NAM) 技術(shù)。

  • MPI 光子學(xué)測試系統(tǒng)采用以用戶為中心的設(shè)計,可根據(jù)您的要求靈活配置和編程。

靈活性:由于支持多種測試配方,用戶可以根據(jù)正在執(zhí)行的產(chǎn)品和測試靈活選擇或修改工作流程或編輯參數(shù)。
生產(chǎn)管理:通過直觀易用的軟件界面管理實驗室/生產(chǎn)數(shù)據(jù)。集成的實時系統(tǒng)監(jiān)控和報告功能可實現(xiàn)順暢且無人值守的測試過程。
無縫集成:借助 MPI 廣泛的儀器庫,MPI 測試系統(tǒng)可以輕松與主流第三方測量儀器對接,滿足您測試需求。




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