| 應用領域 | 食品/農產品,化工,生物產業,制藥/生物制藥 |
|---|
高功率密度散熱系統：采用螺桿式壓縮機,實現 5℃-35℃寬域控溫（靜態精度 ±0.5℃）。針對電子束蒸發的多部件協同散熱需求（電子槍與坩堝獨立冷卻），支持 2-4 路隔離式冷卻回路，通過流量動態分配技術，確保電子槍與坩堝溫差≤±1℃，真空室壁軸向溫差≤±1.5℃，熱流密度穩定在 500-800W/cm2（偏差≤±5%）。相比傳統設備，光學薄膜的厚度均勻性從 ±3% 縮至 ±1%，金屬鍍層的電阻率偏差從 ±5% 降至 ±2%，有效減少因散熱不足導致的缺陷（如膜層針孔率≤0.1 個 /cm2）。
真空環境適配技術：搭載工業級 PLC 與PT100溫度傳感器（響應時間≤0.5s，測量精度 ±0.1℃），實時采集電子束功率（1-50kW）、束流強度（10-100mA）、冷卻水溫、真空度（10??-10??Pa）等 12 項參數，通過電子束 - 熱流耦合模型動態調節制冷量。支持與真空系統（分子泵、機械泵）聯動，在真空度低于 10??Pa 時自動提升 20% 冷卻流量，防止部件過熱導致的真空泄漏（泄漏率≤1×10??Pa?m3/s）。設備采用低揮發材料（蒸發率≤1×10??Pa?m3/s），與冷卻介質接觸部件（管道、泵體）經電解拋光（Ra≤0.02μm），避免污染物進入真空室（顆粒物濃度≤1 個 /cm3≥0.1μm）。
抗汽蝕穩定設計：與冷卻介質接觸部件采用 316L 不銹鋼（耐鹽霧測試≥10000 小時），密封件選用全氟醚橡膠（FFKM），耐受高純度去離子水（電阻率≥18.2MΩ?cm）的長期沖刷。水路系統配備防汽蝕裝置（壓力≥0.5MPa）與三級過濾（50μm 精濾 + 10μm 超濾 + 0.2μm 微濾），防止氣泡產生（溶解氧≤0.1mg/L）和雜質堵塞（堵塞率≤0.1 次 / 月）。設備防護等級達 IP65，適應真空鍍膜車間潔凈環境（Class 100 級），安全機制包括超溫聯鎖（偏離設定值 3℃停機）、流量不足保護（響應時間≤1s）、真空聯動保護（真空度異常時自動停機），保障連續生產（年運行時間≥8000 小時）。
光學薄膜車間：用于光學鏡片增透膜（二氧化硅）電子束蒸發，控制電子槍溫度 25℃±0.3℃，使薄膜厚度均勻性偏差≤±0.5%，折射率穩定在 1.46±0.003，滿足光學鏡頭的透光率要求（≥99%）。
半導體鍍膜車間：在硅片金屬化（鋁膜）電子束蒸發中，提供 15℃±0.3℃冷卻水，確保鋁膜電阻率偏差≤±1%，膜厚均勻性（晶圓級）≤±1%，適應半導體芯片的導電性能需求。
顯示屏鍍膜車間：針對 OLED 顯示屏電極（銀膜）蒸發，控制坩堝溫度 60℃±0.5℃，使銀膜方阻偏差≤±2%，表面粗糙度 Ra≤0.5nm，滿足顯示屏的低電阻、高平整度要求。
裝飾鍍膜車間：用于不銹鋼制品裝飾鍍層（鈦金）電子束蒸發，通過雙回路冷卻（電子槍 10℃±0.5℃、真空室 20℃±0.5℃），使鍍層附著力≥50MPa，色差 ΔE≤1，提升裝飾件的耐用性與美觀度。
采購中心
化工儀器網