CS316 熱式數字氣體質量流量控制器

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公司介紹 主營產品

　　北京華丞電子有限公司(簡稱：華丞電子)原名北京華創流量計有限公司，在傳承四十余年流量測控經驗技術的基礎上，整合融入射頻、晶圓傳輸等專業技術優勢和創新能力，致力于為半導體、清潔能源、真空工業、生命科學及科學研究五大領域用戶，提供精密零部件產品及整體解決方案。

　　華丞電子秉承“以客戶需求為導向的持續創新”理念，精研需求、尊重科學、潛心技術、持續創新，形成了流量測控、真空測控、氣路系統、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統等系列產品。公司已布局四大研發生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞主要國家和地區。

　　作為精密控制的先行者，華丞電子以持續創新為己任，勇于突破自身邊界，積極探索前沿技術，以合作共贏為基礎，為全球合作伙伴貢獻華丞價值。

展開

氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

創新點

電化學拋光技術

采用電化學拋光技術進行表面處理，機械部件內部表面粗糙度均達到5uinch Ra，具有的耐腐蝕性能。

恒功率傳感技術

傳感器采用對稱設計，保持上下游熱傳導平衡，選用高性能保溫材質，有效抑制零漂現象。

壓力補償技術

壓力補償技術在32位高主頻MCU的加持下，使得流量運算和調節速度顯著提升，當MFC前端壓力波動時能夠有效避免流量波動，從而保證流量能穩定且精準的控制。

應用領域

半導體—集成電路

清潔能源—光伏

技術指標

型號	CS316
流量規格(N?)	(0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional)
漏率	≤5×10¹² Pa·m³/s
響應時間	≤0.7 sec
工作壓差范圍	0.05~0.35MPa流量規格≤10SLM 0.15~0.35MPa 流量規格>10SLM
溫度系數	零點: ≤±0.02%F.S./℃; 調節時: ≤±0.05%F.S./℃
重復精度	±0.2%F.S.
線性	±0.5%F.S.
壓力瞬變靈敏度	10~100sccm±(5%S.P+1%F.S.) 【3PSI/秒】 100~10SLM±(1%S.P+1%F.S.) 【5PSI/秒】
耐壓	3.5 MPa
密封材料	金屬密封
工作環境溫度	(0~50) ℃
輸入信號	Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet
輸出信號	Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet
電源	±8~±16 VDC(雙極)或+14~+28 VDC (單極)
標準接頭形式	VCR1/4陽接頭;1.125"C型密封接頭;1.125"W型密封接頭