CS230A 熱式數字氣體質量流量控制器

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公司介紹 主營產品

　　北京華丞電子有限公司(簡稱：華丞電子)原名北京華創流量計有限公司，在傳承四十余年流量測控經驗技術的基礎上，整合融入射頻、晶圓傳輸等專業技術優勢和創新能力，致力于為半導體、清潔能源、真空工業、生命科學及科學研究五大領域用戶，提供精密零部件產品及整體解決方案。

　　華丞電子秉承“以客戶需求為導向的持續創新”理念，精研需求、尊重科學、潛心技術、持續創新，形成了流量測控、真空測控、氣路系統、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統等系列產品。公司已布局四大研發生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞主要國家和地區。

　　作為精密控制的先行者，華丞電子以持續創新為己任，勇于突破自身邊界，積極探索前沿技術，以合作共贏為基礎，為全球合作伙伴貢獻華丞價值。

展開

氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

創新點

VCP的閥控技術

閥控技術采用多項新成果，統稱VCP技術，該結構閥內部氣體死區空間少，閥響應速度快，無磁滯現象。采用VCP技術可以有效的提高氣體質量流量控控器品質。

恒功率傳感器

采用了一種新型恒功率式傳感器技術，該技術采用保持傳感器工作狀態恒定方法，大幅度提高了系統測量精度、響應速度等多項指標。

數字傳感器補償技術

采用一種數字式傳感器電橋平衡方法，可以用連續的電壓對傳感器驅動電壓進行溫度補償，提高了產品傳感器對于溫度漂移抑制，使產品可以抵抗溫度劇烈變化。

應用領域

清潔能源—光伏

特種工業—熱處理

生命科學—環境保護

生命科學—食品工業

技術指標

型號	CS230 A
流量規格(N?)	(50,100,150,200,250,300)SLM
準確度	±1.0% S.P.(≥35%F.S.)±0.35%F.S.(<35%F.S.)
線性	±0.5%F.S.
重復精度	±0.2%F.S.
響應時間	≤ 2 sec
閥類型	Normally Closed	N/A
工作壓差范圍	(0.15~0.35)MPa(50SLM≤Flow<150SLM) (0.20~0.35)MPa(150SLM≤Flow≤250SLM) (0.25~0.40)MPa(250SLM	50~100SLM: <0.02MPa > 100SLM: <0.05MPa
溫度系數	Zero:≤±0.05%F.S./℃; Span: ≤±0.1%F.S./℃
工作壓力	1MPa
耐壓	3MPa
零漂	<0.6%F.S. per year without autozero
漏率	1×10?¹? Pa·m³/sec He(1×10??atm·cc/sec He)
密封材料	Viton; Neoprene
工作環境溫度	(5~45)℃
輸入信號	Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA	N/A
輸出信號	Digital: RS485 or DeviceNet or ProfiBus; Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA
電源	±8~±16VDC or+14~+28 VDC
電氣連接	D sub 9 pins male;D sub 15 pins male; DeviceNet male; ProfiBus
標準接頭形式	Compression Fittingφ6; Compression Fittingl/4";(available to Flow≤60SLM) Compression Fittingφ8mm(available to Flow≤200SLM) Compression Fitting φ10mm; Compression Fitting 3/8"; Compression Fitting 1/2";VCR 1/2"M
重量	2.6kg	1.5kg