真空鍍膜冷卻用工業冷水機丨蒸發源冷卻
| 參考價 | ￥ 115000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 邁浦特機械（四川）有限公司
- 品牌 邁浦特
- 型號
- 產地 江蘇省昆山市
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/8/1 9:30:12
- 訪問次數 25
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| 應用領域 | 食品/農產品,化工,生物產業,制藥/生物制藥 |
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真空兼容溫控系統：實現 5℃-35℃寬域控溫（靜態精度 ±0.5℃）。針對真空鍍膜多部件冷卻需求（靶材與腔體獨立回路），支持 2-4 路隔離式真空級冷卻回路，通過 PID 神經網絡算法與流量動態分配技術，確保靶材表面溫差≤±1℃，電子槍陽極溫度控制在 25℃±1℃（滿功率運行時）。相比傳統設備，磁控濺射靶材的溫度波動從 ±2℃縮至 ±0.5℃，蒸發鍍膜的膜厚均勻性從 ±5% 提升至 ±2%，有效減少因溫度波動導致的膜層缺陷（如色差、剝離發生率≤0.3%）。
鍍膜工藝聯動技術：搭載工業級 PLC 與PT100溫度傳感器，實時采集真空度（10?3-10??Pa）、鍍膜功率（1-50kW）、沉積速率（0.1-10nm/s）、冷卻水溫等 12 項參數，通過熱 - 質傳遞模型動態調節制冷量。支持與鍍膜機控制系統對接，根據鍍膜階段（抽真空→預熱→沉積→冷卻）自動切換冷卻模式：金屬鍍膜時維持靶材恒溫（15℃±0.5℃）防止靶材熔化，光學膜鍍膜時按沉積速率（≥5nm/s）提升 15% 冷卻流量，避免膜層應力集中。針對高功率脈沖磁控濺射（HiPIMS）的瞬時高熱負荷，配備 0.2 秒快速響應模塊，確保靶材溫度波動≤±0.5℃。
光學鏡片鍍膜車間：用于 Φ300mm 光學玻璃增透膜（AR 膜）濺射鍍膜，控制靶材溫度 18℃±0.3℃，使膜層透光率≥99.5%（偏差≤±0.3%），耐摩擦性能≥4B（ASTM D3359 標準），滿足鏡頭的光學要求。
裝飾鍍膜生產線：在不銹鋼衛浴件 PVD 鍍膜（TiN 金色膜）中，提供 15℃±0.5℃冷卻水，確保膜層厚度偏差≤±0.1μm，色差值 ΔE≤1，鹽霧測試≥1000 小時無腐蝕，適應裝飾的耐用性需求。
功能性薄膜鍍膜車間：針對柔性 ITO 導電膜（厚度 100nm）磁控濺射，通過雙回路冷卻（靶材 12℃±0.3℃、冷卻輥 20℃±0.3℃），使膜層方塊電阻偏差≤±5Ω/□，霧度≤1%，滿足觸摸屏的導電與透光要求。
工具鍍膜車間：用于硬質合金刀具 TiAlN 涂層（厚度 3-5μm）離子鍍，控制腔體溫度 25℃±0.5℃，使涂層附著力≥80N（劃痕法測試），刀具壽命提升 3 倍（切削不銹鋼），符合 ISO 18684 工具涂層標準。
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